| アモルファスワイヤの磁気インピーダンス効果（MI効果)を利用した高感度の磁気センサが毛利らにより開発されており、このMIセンサは高感度・高分解能（10-6Oe;AC磁界）などの良好な磁気センサ特性を示す。
しかし、アモルファスワイヤを用いたMIセンサはバイアスコイルや負帰還コイルのためのワイヤ巻き線が必要であること、アモルファスワイヤと端子を接続するための半田付けに問題があるなど小型化、量産性、信頼性に限界がある。
一方、外部磁界による透磁率の変化に起因した表皮効果による軟磁性膜のインピーダンスの変化を利用した薄膜MIセンサの開発がさかんに行われている。
薄膜MI素子は薄膜集積化技術を用いて作製されるため、小型化、量産性、信頼性にすぐれたMIセンサを作製するのに適している。 このため、我々は小型化、量産性、信頼性に優れ、製造コスト的に有利なマイクロめっき技術を用いて、NiFe薄膜MI素子、薄膜バイアスコイル、薄膜負帰還コイルを組み合わせ集積化した薄膜MIセンサヘッドを開発してきた。
ところで、磁気センサとして安定した感度特性を得るためには、センサヘッドの特性のみならず、センサヘッドの形状やセンサを駆動する電子回路の検討も重要である。
そこで、本研究において、差動駆動型薄膜MIセンサヘッドを新たに作製し、その構造、磁気的特性、および、薄膜MIセンサヘッドを用いた差動駆動型MIセンサモジュールの電子回路について検討したので報告する。
さらに、高感度磁気センサの用途として車載用、あるいは、屋外で使用する場合などでは、感度特性とともに温度安定性も重要となってくる。 このため、MIセンサモジュールの温度特性についてもあわせて報告する。
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